等离子体表面处理仪的特点介绍

等离子体表面处理仪可用于消除固体表面的有机污染物，如：金属、陶瓷、玻璃、硅片等等，同时也可以对样品表面进行处理，改善样品表面的特性，如亲水/疏水特性，表面自由能，以及表面的吸附/粘附特性等等。  

主要特点：  

（1）采用电容耦合电极设计（USPatent.4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511），低失真、高效率的特性，保证了样品室内等离子体分布的均一性；  

（2）采用自动调频高频发生器，保证了等离子体发生的稳定性和有效性；  

（3）采用高精度的流速控制和压力控制部件，保证了气体的高重现性混合和分布；  

（4）采用软件控制，确保控制的方便有效和实时监控；  

（5）一体化的高真空系统，确保了操作的方便性和稳定性；  

（6）多种样品室可供选择，如耐热玻璃和石英等，更能满足广大客户的需求多；  

（7）体积小，可远程操作，多种安全保护，保证操作的安全和方便；  

（8）样品室和功率设计合理，可满足绝大部分科研需要；  

（9）全自动操作，方便可靠。